Crystal wafter fixing device and method

晶圆的固定装置及方法

Abstract

本发明系一种晶圆的固定装置,用以固定一平板于一晶圆上,该晶圆具有数个镂空处,其中,该装置系包含:一基座,系用以放置晶圆;在基座上设有至少一个沟槽,且每个沟槽具有一独立开口,开设于基座一侧,当晶圆置于基座上时,所述镂空处系对应于所述沟槽;以一抽气设备,与沟槽的开口连接。其系用于当晶圆置于基座上时,由开口抽出沟槽中的气体,使叠合于该晶圆上的平板藉一真空吸力固定于晶圆上。本发明设备简单、方法容易,适用广。

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    US-4600936-AJuly 15, 1986International Business Machines CorporationChip registration mechanism

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